离子探针仪器的四个分类以及应用【虎扑体育官方网站】

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虎扑体育官方网站-一般来说,在离子探针仪器的分类中,离子束光斑小于10m的称为非光学宏观探针。大于10纳米的离子束点称为离子微探针。

离子探针仪器的四大类及应用:就光学技术而言,可分为扫描离子微探针和照相离子探针。前者有一个直径很小的一次离子束光斑,(1m),扫描样品,类似于扫描电子显微镜(SEM)和扫描俄歇微探针(SAM),也叫离子微探针。后者是一次离子束光斑小(~ 300 m)且静止,而二次光学扫描光学,也叫离子显微镜,空间分辨率为~0.2m。

随着离子探针的快速发展,不可能解释或列出所有不同的仪器。一般来说,可以分为以下几类。1.非光学离子探针2。

离子显微镜3。扫描离子微探针4。成像解剖离子探针离子探针仪器对成像离子探针的应用限于许多不同类型的样品。

以下是一些有代表性的例子。1.金属样品这是一个理想的样品,将被充电。首先,我们可以通过SEM找到感兴趣的分析区域。沿剖面线扫描是剖面样品和扫描离子探针的简单技术,可作为动态模拟人生的补充。

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它可用于研究金属氧化物的生长、生锈、焊接、变形、过热和脱落、晶界偏聚等。第二,半导体器件检测掺杂是在剖面和层结构中产生的。

随着超大规模集成电路的发展,扫描离子探针分析变得更加重要。非导体样品聚合物和玻璃产品是典型的绝缘样品。为了解决充电问题,火焰光度计开发了一种微探针扫描原子束,可以产生绝缘样品的高质量离子图像。但当垂直分辨率需要高于5m时,上述来源无法满足要求。

此时只讨论微离子束。成功获得了家蝇触角的离子图像。

另一个应用领域是复合材料,特别是在研究这种材料的裂纹界面的情况下。-虎扑体育官方网站。

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